宿迁SMC真空发生器

伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆的系统和方法本**技术涉及半导体晶圆加工领域，特别是指一种伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆的系统和方法。技术介绍晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，是制造半导体芯片的基本材料，由于其形状为圆形，故称为晶圆。伯努利原理可以形象的表述为：在水流或气流里，如果速度小，压强就大，如果速度大，压强就小。伯努利机械手(吸盘)就是利用了伯努利原理的机械手，机械手的喷气口中喷出的气体(例如氮气等惰性气体)遇到圆盘的表面(例如上表面，当然也可以是下表面，以上表面为例陈述是示例性的)后，气体自圆盘上表面迅速扩散，使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度，根据伯努利原理可知，此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压，因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。在晶圆加工过程中，伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆，把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后，机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附，伯努利机械手吸附晶圆，把晶圆从真空卡盘上取下，并带出工艺腔室。根据频率产生单元的生产技术来选；频率产生单元是真空发生器的基础和**。宿迁SMC真空发生器

单体式真空发生器：也即是基本的真空发生产品，使用的是拉瓦尔管的形式。以ZH系列产品为主。·另有同类推荐产品，满足不同需求：多级真空发生器：当实际生产场合中，有更大的吸入流量需求时，可选用单体式真空发生器的节能升级型产品ZL系列产品，其原理也是拉瓦尔管的形式。区别在于，其基础上增加了三级真空管的设计，提高了方便工件的搬运，需要真空发生器实现频繁的通断，这个时候，就要采用更为复杂的形式，也即是我们在上文中介绍的带有“供给”及“破坏”电磁阀的产品。此类带有电磁阀的真空发生器，与简单的单体式真空发生器相比，可以达到更为快速且方便的通断操控。同类还包括节能型真空发生器，能耗一直是个不可避免的话题，如何压缩能耗上可降低的部分就变得尤为重要。所以，对于可控型真空发生器也需要从省能的角度出发，做产品优化和改进。欣诺的SZK系列节能型产品，应运而生。带有数字式压力开关，可以在设定范围内，通过设定真空压力范围，保证物体处于稳定的吸着状态。空气消耗量减少90%。深圳TM真空发生器欣诺气动，SZK系列多级真空发生器可替代SMC型ZK2A系列多级真空发生器。

压缩空气经喷嘴高速喷出在喷嘴周围通过卷吸效应而产生真空影响真空发生器性能主要有以下两个因素：1、供气流量是否充足真空发生器是一个消耗压缩空气的原件，当我们的供气量不足时会导致产生真空度不足，规格较大的真空发生器要尤为注意。所以我们一定要对整个设备的耗气量做好计算，供气量不足也会导致气缸出力不足动作迟缓等。真空发生器进气口配管的横截面积要大于喷嘴横截面积的3~4倍，以维持进气流量足够及供气压力稳定。2、排气及吸气是否通畅喷嘴、消声器堵塞时会导致真空度不足，所以真空发生器滤芯及过滤器滤芯要定期更换；真空侧之配管（发生器至吸盘），管路应尽量缩短，而且管径要大，不可有太多弯曲，如果流量不顺畅会造成吸着及脱离时间拉长，影响作业稳定性。

真空发生器性能：1、排气特性和流量特性排气特性是指真空压力、吸入流量或空气消耗量随真空发生器的供气压力变化的关系。它们随着供气压力的增加而增大。流量特性是指在真空发生器的供气压力一定时，真空压力与吸入流量的关系。吸入流量是指从吸入口吸入的空气流量。2、真空发生器的耗气量真空发生器耗气量是由工作喷嘴直径决定的，但同时也与工作压力有关。同一喷嘴直径，其耗气量随工作压力的增加而增加。喷嘴直径是选择真空发生器的主要依据。喷嘴直径越大，抽吸流量和耗气量越大，而真空度越低；喷嘴直径越小，抽吸流量和耗气量越小，但真空度越高。3、真空度真空度存在大值，当超过大值，即使增加工作压力，真空度非但没有增加反而会下降。真空发生器产生的真空度大可达88kPa。实际使用时，建议真空度可选定在70kPa，工作压力在0.5MPa左右。欣诺真空泵：比机械式旋片泵能效高40%，重量轻、噪音低、易安装、寿命长。模块式组合，内装1~6根真空筒。

目前的真空开关有机械式和电子式，机械式开关是不能控制的，而且反应慢，容易损坏。因此宜采用电子真空开关，但只有数显的真空开关，才能准确控制PLC的动作点，沃泰可VUOTOTECNICA真空发生器集成了数显真空开关，功耗低，反应速度10μs左右，压力数值一目了然，能及时在当前压力值达到吸力时，产生ON信号能知PLC进行下一步动作，搬运物品到达下一工位，释放时,关闭供气电磁阀,只有压力下降至吸盘抬起不再粘附时(约0～-5Kpa)，真空开关才向PLC发出OFF信号，吸盘才能离开,地提高了工作的可靠性。至于破坏阀，则是当真空发生器开始释放工作时产生吹气压力，使工件快速释放，但是真空发生器本身具有自破坏真空的功能，当真空发生器电磁阀停止供气时，内部真空会被大气压力快速填充，快速恢复到大气压力，这个时间一般在～。因此破坏阀并不是一定必须的，在大多数设备中，真空发生器的自破坏时间已经完全满足使用了。当工件极轻且有粘附性时，有必要使用带有破坏阀功能的真空发生器，这样才能可靠地释放工件。因此真空发生器的造型是根据物品的性能特点，重量，及设备的生产速度要求综合考虑的。请参考真空发生器的性能表，查看不同喷咀的流量，尽可能用小的流量吸取较大的工件。真空发生器结构简单，体积小，无可动机械部分，使用寿命长，安装使用方便，真空度可达88kPa.保持真空发生器工厂

真空发生器ZL112采用3级扩散段构造，吸入流量增加,可选择数字式真空开关、真空压力计等功能.宿迁SMC真空发生器

日本SMC气动元件，日本CKD动元件，日本小金井气动元件德国品牌：德国宝德burkert，德国festo费斯托，英国海隆诺冠意大利品牌：意大利UNIVER意大利康茂盛美国品牌：美国ROSS美国ASCO电磁阀，美国MAC电磁阀中国台湾：中国台湾MINDMAN金器，中国台湾AIRTAC亚德客二、工控产品德国品牌：德国PILZ皮尔兹继电器，德国IFM易福门传感器，德国海德汉HEIDENHAIN德国P+F倍加福传感器，德国RENCON编码器，德国施克SICK德国TURCK图尔克，德国HIRSCHMANN赫斯曼工业交换机。德国亨士乐，德国MURR穆尔，德国金钟默勒日本品牌：日本欧姆龙OMRON传感器，日本神视SUNX基恩士，日本奥普士，日本SUMTAK盛太克编码器，日本内密控编码器美国品牌：巴士德BARKSDALE三、液压元件美国品牌：美国NUMATICS纽曼蒂克，美国PARKER派克气动液压，美国VICKERS威格士，美MOOG穆格，美国FAIRCHILD美国POSEMOUNT罗斯蒙特，美国艾默生EMERSON美国哈希HACH美国丹尼逊液压元件，美国克力帕德国品牌：德国HAWE哈威，德国REXROTH力士乐，德国HYDAC贺德克，德国E+H，德国博力谋BELIMO日本品牌：日本油研YUKEN，日本NACHI，日本黑田精工，日本丰兴TOYOOKI，日本大金液压DAIKIN。宿迁SMC真空发生器

乐清市欣诺气动有限公司是一家从事真空发生器，真空过滤器，真空安全阀，真空吸盘研发、生产、销售及售后的生产型企业。公司坐落在柳市镇岙底村中南三路25号，成立于2014-06-24。公司通过创新型可持续发展为重心理念，以客户满意为重要标准。SINO目前推出了真空发生器，真空过滤器，真空安全阀，真空吸盘等多款产品，已经和行业内多家企业建立合作伙伴关系，目前产品已经应用于多个领域。我们坚持技术创新，把握市场关键需求，以重心技术能力，助力机械及行业设备发展。我们以客户的需求为基础，在产品设计和研发上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了SINO产品。我们从用户角度，对每一款产品进行多方面分析，对每一款产品都精心设计、精心制作和严格检验。乐清市欣诺气动有限公司以市场为导向，以创新为动力。不断提升管理水平及真空发生器，真空过滤器，真空安全阀，真空吸盘产品质量。本公司以良好的商品品质、诚信的经营理念期待您的到来！